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半導體潔凈車間的給排水系統設計與施工

半導體潔凈車間的給排水系統設計與施工:坤靈建筑商的專業之道

在半導體潔凈車間的建設中,給排水系統的設計與施工是至關重要的環節,它不僅關系到車間的正常生產運營,還對車間的潔凈度和產品質量有著直接影響。廣州坤靈凈化設備有限公司作為專業的建筑商,憑借豐富的經驗和精湛的技術,在半導體潔凈車間給排水系統的設計與施工方面,有著一套科學嚴謹且行之有效的方法。

給排水系統設計

  1. 供水系統設計
    • 水質要求考量:半導體生產對水質的要求極高,水中的雜質、微生物、離子等都可能對半導體芯片的生產工藝和產品質量產生嚴重影響。因此,坤靈在設計供水系統時,充分考慮到這一點,通常會采用多級過濾、反滲透、離子交換等先進的水處理技術,確保供水水質達到超純水標準。例如,對于光刻、蝕刻等關鍵工序,需要使用電阻率達到 18.2MΩ?cm 以上的超純水,以避免水中雜質在芯片表面殘留,影響芯片的性能和良品率。
    • 供水穩定性保障:為了保證半導體生產的連續性,供水系統的穩定性至關重要。坤靈會設計雙路供水或配備備用供水設備,以防止因主供水管道故障或水源中斷而導致生產停滯。同時,合理設置水箱的容積和位置,確保在用水高峰期也能滿足車間的用水需求。此外,還會安裝壓力傳感器和變頻水泵,根據用水情況自動調節供水壓力,保證供水壓力的穩定。
    • 管道布局優化:在管道布局方面,坤靈遵循簡潔、緊湊的原則,盡量減少管道的長度和彎頭數量,以降低水流阻力和水質污染的風險。供水管道采用優質的不銹鋼管或聚四氟乙烯(PTFE)管等耐腐蝕、無污染的材料,管道連接采用焊接或卡套連接等方式,確保連接部位的密封性,防止水質受到外界污染。同時,對供水管道進行保溫處理,避免因溫度變化導致管道表面產生冷凝水,影響車間的潔凈度。
  2. 排水系統設計
    • 排水分類處理:半導體潔凈車間的排水可分為工藝排水、生活排水和雨水排水等。坤靈會根據不同類型排水的特點和要求,進行分類處理。對于工藝排水,由于其中可能含有化學物質、重金屬等污染物,需要先經過專門的廢水處理設施進行處理,達到排放標準后再排入市政排水管網。生活排水則相對簡單,但也需要進行適當的處理,如設置隔油池、化糞池等,去除其中的油脂和固體雜質。雨水排水系統則要確保排水暢通,防止雨水倒灌進入車間。
    • 排水管道設計:排水管道同樣選用耐腐蝕、不易結垢的材料,如不銹鋼管或高密度聚乙烯(HDPE)管。管道坡度設計合理,確保排水順暢,避免積水現象的發生。在排水管道的關鍵部位,如排水口、彎頭、三通等,設置清掃口和檢查口,便于定期進行管道的清理和維護。同時,為了防止排水管道中的異味和有害氣體進入車間,會設置水封裝置,如水封地漏、存水彎等。
    • 潔凈度保護措施:在排水系統設計中,坤靈非常注重對車間潔凈度的保護。排水管道采用暗敷方式,盡量減少管道在車間內的暴露面積。對于穿越潔凈區的排水管道,會進行嚴格的密封處理,防止管道外壁積塵和微生物滋生。此外,還會在排水系統中設置空氣隔斷裝置,防止排水管道中的污水倒灌進入車間,保證車間的潔凈環境。

給排水系統施工

  1. 施工前準備
    • 材料設備檢驗:在施工前,坤靈會對給排水系統所需的材料和設備進行嚴格的檢驗。檢查材料的規格、型號、質量證明文件等是否符合設計要求,對設備進行外觀檢查和性能測試,確保設備運行正常。例如,對不銹鋼管進行壁厚測量、表面質量檢查,對水泵進行流量、揚程測試等。
    • 施工圖紙交底:組織施工人員進行施工圖紙交底,使施工人員熟悉圖紙內容,明確施工要求和技術標準。在交底過程中,對施工中的重點、難點問題進行詳細講解,并解答施工人員的疑問。同時,根據施工圖紙和現場實際情況,制定施工方案和施工進度計劃,合理安排施工順序和施工時間。
  2. 管道安裝施工
    • 管道連接工藝:在管道安裝過程中,嚴格按照設計要求和施工規范進行操作。對于不銹鋼管的焊接連接,采用氬弧焊等先進的焊接工藝,確保焊接質量。焊接前對管道進行清潔和打磨,去除管道表面的油污、鐵銹等雜質。焊接過程中控制好焊接參數,保證焊縫均勻、飽滿,無氣孔、裂紋等缺陷。對于卡套連接,確保卡套安裝正確,密封良好。
    • 管道固定與支撐:合理設置管道的固定點和支撐點,確保管道安裝牢固,避免管道因水流沖擊或振動而產生位移。對于水平管道,每隔一定距離設置一個支架;對于垂直管道,每隔一定高度設置一個固定件。同時,根據管道的材質和工作溫度,選擇合適的支架和固定件材料,防止管道與支架之間產生電化學腐蝕。
    • 管道清洗與試壓:管道安裝完成后,對管道進行清洗和試壓。清洗的目的是去除管道內的雜質、油污等污染物,確保管道內部清潔。采用水沖洗或化學清洗等方式進行清洗,清洗后對管道進行檢查,確保管道內無殘留雜質。試壓的目的是檢查管道的密封性和強度,按照設計要求的壓力進行試壓,穩壓一定時間后檢查管道有無滲漏現象。如有滲漏,及時進行修復,直至試壓合格。
  3. 設備安裝調試
    • 設備就位與連接:將水泵、水處理設備等安裝到指定位置,確保設備的水平度和垂直度符合要求。設備就位后,進行設備與管道的連接,連接時注意管道的走向和坡度,保證水流順暢。同時,對設備的電氣線路進行連接,確保電氣連接正確、牢固,符合安全規范。
    • 設備調試運行:設備安裝完成后,進行調試運行。首先對設備進行單機調試,檢查設備的運行狀態和性能指標是否符合要求。例如,檢查水泵的流量、揚程、電機電流等參數是否正常。然后進行系統調試,使給排水系統各設備協同工作,檢查系統的運行穩定性和可靠性。在調試過程中,對發現的問題及時進行調整和解決,確保設備和系統能夠正常運行。

施工質量控制與驗收

  1. 質量控制措施
    • 過程監督檢查:在施工過程中,坤靈會安排專業的質量管理人員對施工質量進行全程監督檢查。檢查施工人員是否按照施工圖紙和施工規范進行操作,對施工中的關鍵工序和隱蔽工程進行重點檢查。例如,對管道焊接、設備安裝等關鍵工序進行旁站監督,對管道的隱蔽部分進行驗收檢查,確保施工質量符合要求。
    • 質量檢測驗收:對給排水系統的施工質量進行定期檢測驗收,采用專業的檢測設備和方法,對管道的安裝質量、水質、水壓等進行檢測。例如,使用水質檢測儀檢測供水水質,使用壓力傳感器檢測供水壓力。對檢測中發現的問題及時進行整改,確保施工質量達到優良標準。
  2. 竣工驗收
    • 資料整理審核:在施工完成后,坤靈會整理給排水系統的施工資料,包括施工圖紙、材料檢驗報告、隱蔽工程驗收記錄、設備調試記錄等。對這些資料進行審核,確保資料的完整性、準確性和規范性。
    • 現場驗收檢查:組織相關人員進行現場驗收檢查,對給排水系統的外觀質量、安裝質量、運行性能等進行全面檢查。檢查管道連接是否牢固,設備運行是否正常,排水是否順暢等。同時,對水質進行檢測,確保水質符合半導體生產的要求。驗收合格后,將給排水系統交付使用,并提供相應的售后服務和技術支持。

 

廣州坤靈凈化設備有限公司在半導體潔凈車間給排水系統的設計與施工中,以專業的技術、嚴謹的態度和嚴格的質量控制,為半導體生產企業打造了可靠、高效、潔凈的給排水系統。通過不斷創新和提升,坤靈將繼續為半導體行業的發展提供優質的工程服務,助力企業實現高質量的生產目標。

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