半導體制造工藝對生產環境的潔凈度要求極為嚴苛，塵埃粒子、微生物以及有害氣體等微小污染物都可能對半導體產品的性能、良率和可靠性產生重大影響。因此，半導體潔凈室需依據嚴格的等級標準進行設計、建造與維護。廣州坤靈凈化設備有限公司在半導體潔凈室建設領域深耕多年，為眾多企業構建了符合高等級標準的生產空間。?

一、國際通行的潔凈室等級劃分體系?

半導體潔凈室等級劃分主要依據國際標準化組織（ISO）制定的 ISO 14644 - 1 標準。該標準以單位體積空氣中不同粒徑懸浮粒子的數量為衡量指標，將潔凈室分為 ISO 1 級至 ISO 9 級，數字越小，代表潔凈度越高。?

ISO 1 級?

此為最高潔凈等級，每立方米空氣中粒徑≥0.1μm 的粒子數不超過 12 個，粒徑≥0.2μm 的粒子數不超過 2.4 個，粒徑≥0.3μm 的粒子數不超過 1 個，粒徑≥0.5μm 的粒子數不超過 0.3 個 。在半導體制造的光刻工序中，芯片線路寬度極窄，對環境潔凈度近乎零污染的要求使得 ISO 1 級潔凈室成為必需。坤靈在打造此類潔凈室時，采用頂級空氣凈化系統，配備超高效過濾器（ULPA），其對粒徑 0.12μm 的粒子過濾效率可達 99.999% 以上，確保室內空氣懸浮粒子濃度維持在極低水平。?

ISO 2 級?

每立方米空氣中粒徑≥0.1μm 的粒子數不超過 120 個，粒徑≥0.2μm 的粒子數不超過 24 個，粒徑≥0.3μm 的粒子數不超過 10 個，粒徑≥0.5μm 的粒子數不超過 3 個 。常用于高端傳感器、微機電系統（MEMS）制造等對精度要求極高的電子元器件制造環節。坤靈在此等級潔凈室建設中，同樣依賴超高效過濾器保證空氣凈化效果，同時在氣流組織設計上精心規劃，通過合理的送風口與回風口布局，形成穩定、均勻的氣流流型，避免出現氣流死角導致污染物積聚。?

ISO 3 級?

每立方米空氣中粒徑≥0.1μm 的粒子數不超過 1200 個，粒徑≥0.2μm 的粒子數不超過 240 個，粒徑≥0.3μm 的粒子數不超過 100 個，粒徑≥0.5μm 的粒子數不超過 30 個 。在半導體制造的部分輔助工序或對潔凈度要求稍低的產品生產中較為適用。坤靈在建設時選用高效過濾器（HEPA）作為核心凈化設備，其對 0.3μm 粒子的過濾效率可達 99.97% 以上，同時搭配合理的空調通風系統，維持室內溫濕度穩定，滿足生產工藝對環境條件的要求。?

ISO 4 級與 ISO 5 級?

ISO 4 級標準為每立方米空氣中粒徑≥0.5μm 的粒子數不超過 3520 個，粒徑≥5μm 的粒子數不超過 29 個；ISO 5 級標準是每立方米空氣中粒徑≥0.5μm 的粒子數不超過 35200 個，粒徑≥5μm 的粒子數不超過 293 個 。這兩個等級在半導體制造產業鏈中，適用于一些對潔凈度要求相對寬泛的環節，如部分封裝工序等。坤靈在建設這類潔凈室時，注重成本效益平衡，選用性能可靠、性價比高的空氣凈化設備與建筑裝修材料，在滿足潔凈度標準的同時，幫助企業有效控制建設成本。?

二、坤靈在半導體潔凈室建設中的關鍵把控點?

精準的需求分析與方案定制?

坤靈在承接半導體潔凈室建設項目伊始，便安排專業團隊與客戶深度溝通，詳細了解生產工藝、產品類型、未來產能規劃以及特定的生產環境要求等。例如，對于采用先進制程技術的芯片制造企業，其光刻、刻蝕等關鍵工序對潔凈室的振動控制、靜電防護、溫濕度精度以及潔凈度等級均有極高要求，坤靈會據此制定針對性的整體解決方案，從選址規劃、平面布局到系統設計，全方位滿足企業生產需求，避免因前期規劃不合理導致的后期改造與成本增加。?

高品質的設備與材料選用?

1. 空氣凈化設備：根據不同潔凈室等級，坤靈嚴格挑選適配的空氣凈化設備。在高等級潔凈室中，超高效過濾器（ULPA）是核心裝備，其卓越的過濾性能可有效攔截微小塵埃粒子；而在稍低等級潔凈室，高效過濾器（HEPA）則能滿足凈化需求。同時，搭配性能優良的空調機組，精確控制空氣的溫度、濕度與流量，確保室內環境參數穩定在生產工藝允許的范圍內。?

2. 建筑裝修材料：選用不產塵、易清潔、耐腐蝕且具備良好保溫隔熱性能的材料。墻面和天花板多采用優質彩鋼板，其表面平整光滑，接縫嚴密，可有效防止塵埃積聚與微生物滋生；地面根據不同區域功能，選擇環氧自流平地面或抗靜電 PVC 地板，既能滿足潔凈室的清潔要求，又能有效消除靜電隱患，保障半導體產品生產過程中的安全性。?

嚴格的施工管理與質量控制?

1. 施工團隊專業培訓：坤靈對參與半導體潔凈室施工的團隊進行專項培訓，使其熟悉半導體生產工藝特點、潔凈室建設標準以及施工過程中的特殊要求。從基礎施工到設備安裝調試，每個環節都嚴格按照標準操作流程執行，確保施工質量。?

2. 施工過程質量監控：在施工過程中，坤靈建立完善的質量監控體系，安排專業質檢人員對每一道工序進行嚴格檢查。從建筑結構的搭建、凈化設備的安裝到電氣系統的布線，任何不符合設計要求與質量標準的問題都及時整改，確保每一個施工細節都符合半導體潔凈室的高標準要求。例如，在高效過濾器安裝過程中，嚴格控制過濾器與邊框之間的密封性能，防止泄漏，保證凈化效果。?

全面的檢測與后期運維支持?

1. 竣工檢測：車間建成后，坤靈委托具備專業資質的第三方檢測機構，依據 ISO 14644 - 1 等相關標準，對潔凈室的潔凈度、溫濕度、壓差、氣流組織、噪聲等各項指標進行全面檢測。只有在所有指標均符合預定等級標準后，才交付客戶使用，確保潔凈室的性能與質量達到設計要求。?

2. 運維培訓與服務：為幫助客戶更好地維護半導體潔凈室的運行狀態，坤靈為客戶提供詳細的運維培訓，包括設備操作規范、日常清潔消毒流程、環境監測方法以及常見故障排查等內容。同時，坤靈還建立了完善的售后服務體系，隨時響應客戶需求，為潔凈室的長期穩定運行提供有力保障。?

半導體潔凈室等級標準是保障半導體產品質量與生產效率的基石。廣州坤靈凈化設備有限公司憑借對標準的深刻理解與精湛的建設技術，從方案設計到項目交付及后期運維，全流程為半導體企業打造符合高等級標準的潔凈生產空間，助力半導體產業蓬勃發展。