如何選擇適合半導體潔凈工程的建筑材料?
在半導體產業中,潔凈工程(Cleanroom Engineering)的建設質量直接影響產品良率與生產穩定性。作為專注潔凈室(Cleanroom)建設工程和實驗室(Laboratory)建設裝修工程的企業,廣州坤靈深知,建筑材料的選擇是決定半導體潔凈室性能的關鍵因素。合理的選材需嚴格遵循相關標準,確保材料既滿足潔凈度要求,又適配生產工藝需求,依據《潔凈廠房設計規范》GB 50073 - 2013,以及 ISO 14644 國際標準體系,半導體潔凈工程對建筑材料的產塵性、抗污染性、耐腐蝕性、防靜電性等方面均有明確要求。例如,標準規定潔凈室內壁材料的表面發塵量需≤10^4 個 /m²?min,以控制塵埃粒子對半導體生產的影響 。
1.墻面與天花板材料選擇
墻面和天花板材料需具備不易產塵、易清潔、耐腐蝕的特性。廣州坤靈在項目中多采用機制彩鋼板作為首選材料。這種板材表面涂層為環保聚酯烤漆或氟碳漆,表面電阻值控制在 10^6 - 10^9Ω 之間,既能有效防止靜電吸附塵埃,又便于使用清潔劑擦拭消毒。相較于普通鋼板,彩鋼板的表面光潔度提升 30%,發塵量降低約 40%,滿足半導體潔凈室對潔凈度的嚴苛要求,在一些對防腐蝕要求更高的區域,如濕法蝕刻車間,坤靈會選用不銹鋼板。304 或 316L 不銹鋼板不僅具備良好的耐酸堿腐蝕性能,其表面粗糙度 Ra 值≤0.8μm,能減少污染物附著,且焊接工藝成熟,可實現無縫拼接,避免縫隙積塵。
2.地面材料選擇
半導體潔凈室(Cleanroom)的地面需兼顧防靜電、耐磨、防滑等多重性能。廣州坤靈通常根據不同區域需求進行差異化選材。在核心生產區,多采用環氧自流平防靜電地坪。該材料通過添加導電填料,使表面電阻穩定在 10^6 - 10^9Ω,有效導除靜電;其莫氏硬度達 3 - 4 級,耐磨性能良好,可承受生產設備的頻繁碾壓,對于人員流動頻繁的通道和物流區域,PVC 防靜電地板是更佳選擇。這種地板具有柔軟質地,防滑系數達 0.6 以上,降低人員滑倒風險;同時具備良好的耐污性,局部損壞后便于更換,維護成本較低。
3.門窗材料標準
門窗作為潔凈室與外界連通的關鍵部位,密封性能至關重要。廣州坤靈選用雙層中空玻璃配鋁合金框的門窗結構,窗框與墻體之間采用硅酮密封膠填充,確保氣密性。實驗數據顯示,該類門窗的空氣滲透量≤0.5m³/(m?h),遠低于標準要求的 1.5m³/(m?h) 。
為防止門窗五金件生銹產塵,坤靈采用 304 不銹鋼合頁、把手等配件,表面經過拋光處理,杜絕因金屬氧化帶來的污染風險。
4.管道與配件選材
半導體潔凈室內的管道系統涉及氣體、液體輸送,材料選擇需確保無污染、無泄漏。廣州坤靈在高純氣體管道安裝中,采用內壁電解拋光的 316L 不銹鋼管,其表面粗糙度 Ra≤0.2μm,能有效降低氣體雜質吸附;管道連接采用自動軌道焊接技術,焊縫光滑平整,減少微生物滋生風險,在給排水管道方面,選用符合衛生標準的 PPR 或 PE 管,具有耐腐蝕、不易結垢的特點,保障生產用水的潔凈度。
廣州坤靈在半導體潔凈工程(Cleanroom Engineering)中,始終以標準為導向,從墻面、地面、門窗到管道系統,對建筑材料進行系統化篩選與應用。通過精準匹配生產工藝需求,既保障了潔凈室的性能指標,又為半導體企業打造出穩定可靠的生產環境,助力提升產品競爭力。