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防靜電地坪電阻標(biāo)準(zhǔn)以及施工工藝

在電子半導(dǎo)體、精密儀器制造等行業(yè)的潔凈車間(cleanroom)建設(shè)中,防靜電地坪是保障生產(chǎn)安全與產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵設(shè)施。靜電釋放(ESD)可能導(dǎo)致電子元件損壞、粉塵吸附污染等問題,因此需通過嚴(yán)格的電阻標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范施工確保地坪性能。廣州坤靈作為專業(yè)的潔凈室建設(shè)工程企業(yè),在防靜電地坪施工中嚴(yán)格遵循《電子信息系統(tǒng)機(jī)房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB 50174)、《防靜電工程技術(shù)規(guī)范》(GB 50694)等國家標(biāo)準(zhǔn),為客戶提供合規(guī)、高效的解決方案。

一、防靜電地坪電阻標(biāo)準(zhǔn)解析

根據(jù) GB 50694 標(biāo)準(zhǔn),防靜電地坪按電阻值分為導(dǎo)靜電型靜電耗散型兩類,具體指標(biāo)如下:

 

類型 表面電阻 體積電阻 適用場景
導(dǎo)靜電型 ≤1.0×10?Ω ≤1.0×10?Ω 對靜電敏感的高精度電子生產(chǎn)車間(如芯片制造)、易燃易爆環(huán)境(如鋰電池車間)
靜電耗散型 1.0×10?Ω < 表面電阻 ≤1.0×10¹?Ω 1.0×10?Ω < 體積電阻 ≤1.0×10¹?Ω 普通電子組裝車間、精密儀器制造場所

 

此外,防靜電地坪需通過接地系統(tǒng)將靜電導(dǎo)入大地,接地電阻通常要求≤10Ω,以確保靜電快速泄放。廣州坤靈在某半導(dǎo)體潔凈車間項(xiàng)目中,通過嚴(yán)格控制地坪電阻參數(shù),使車間靜電電壓始終維持在 50V 以下,有效降低電子元件因靜電損壞的概率。

二、防靜電地坪施工工藝流程

1. 基層處理

  • 打磨清理:使用打磨機(jī)去除地面油污、松散層及凸起物,確保基層平整度誤差≤3mm/m;清理灰塵、碎屑后,用吸塵器徹底清潔。
  • 缺陷修復(fù):若地面存在裂縫、孔洞,采用防靜電砂漿修補(bǔ)找平,保證基層密實(shí)無空鼓。

2. 接地系統(tǒng)安裝

  • 埋設(shè)接地極:在地面周邊或指定位置埋設(shè)銅質(zhì)接地極,深度≥0.7m,通過扁鋼或銅帶連接形成接地網(wǎng)絡(luò)。
  • 測試電阻:使用接地電阻測試儀檢測,確保接地電阻≤10Ω;若不達(dá)標(biāo),需增加接地極或改善土壤導(dǎo)電性。

3. 底漆施工

  • 材料調(diào)配:將防靜電底漆按比例混合,攪拌均勻后熟化 5-10 分鐘。
  • 涂布作業(yè):采用滾涂或刮涂方式均勻涂布,確保底漆滲透基層,增強(qiáng)附著力,涂布量約 0.15-0.2kg/㎡,常溫干燥 6-8 小時。

4. 導(dǎo)電銅箔鋪設(shè)

  • 網(wǎng)格布局:按設(shè)計(jì)要求鋪設(shè)導(dǎo)電銅箔(寬度 50mm),形成 600mm×600mm 或 1000mm×1000mm 網(wǎng)格,銅箔與接地系統(tǒng)可靠連接。
  • 固定處理:使用導(dǎo)電膠或壓敏膠帶固定銅箔,確保無翹起、斷裂,接口處重疊≥50mm。

5. 中涂施工

  • 砂漿配制:將防靜電中涂主劑、固化劑與石英砂混合,攪拌成均勻砂漿狀。
  • 刮涂找平:用刮板或抹刀將中涂砂漿分 1-2 遍刮涂,厚度約 0.5-1mm,每遍間隔 8-12 小時;干燥后打磨平整,清除浮塵。

6. 面漆施工

  • 材料準(zhǔn)備:調(diào)配防靜電面漆,加入專用導(dǎo)電填料確保電阻達(dá)標(biāo);若采用環(huán)氧防靜電地坪,需嚴(yán)格控制固化劑比例。
  • 涂布工藝:滾涂或噴涂 2-3 層面漆,每層涂布量約 0.2-0.3kg/㎡,間隔 6-8 小時;施工過程避免氣泡、流掛,確保涂層均勻。

7. 電阻檢測與驗(yàn)收

  • 性能測試:使用表面電阻測試儀、體積電阻測試儀對地坪進(jìn)行多點(diǎn)檢測,確保電阻值符合設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn);同時復(fù)測接地電阻。
  • 外觀檢查:檢查涂層表面平整度、色澤均勻性,無開裂、鼓包等缺陷;銅箔網(wǎng)格無裸露、脫落。
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