為滿足電子行業潔凈車間對防靜電、高精度供電及電磁兼容性的嚴苛要求，本施工方案嚴格遵循《潔凈廠房設計規范》（GB 50073）、《電子信息系統機房設計規范》（GB 50174）等標準，結合廣州坤靈在電子潔凈工程中的實踐經驗編制。方案圍繞施工準備、核心工序、質量管控等環節展開，確保電氣系統安全穩定運行。
一、施工前期準備
1. 技術籌備
       圖紙深化設計：聯合設計院對電氣圖紙進行三維建模，利用 BIM 技術優化橋架、管線走向，避免與凈化空調、通風管道交叉碰撞，確保潔凈區內無管線外露。
     技術交底會議：組織施工團隊開展專項培訓，重點講解防靜電接地網布局、精密設備專線供電要求、電磁屏蔽施工工藝等關鍵技術節點，確保施工人員熟悉《電子工業潔凈廠房設計規范》（GB 50472）相關條款。

2. 材料與設備驗收
核心材料標準：
    橋架采用 304 不銹鋼材質，壁厚≥1.5mm，表面電解拋光處理（粗糙度 Ra≤0.8μm），滿足無塵環境要求；
   電纜選用低發塵 FEP 絕緣材質，阻燃等級達 B1 級，信號線纜采用雙層屏蔽的 STP 電纜，屏蔽層覆蓋率≥90%；
    配電箱為不銹鋼密封型，防護等級 IP65，內部配置浪涌保護器（SPD），響應時間≤25ns。
   設備進場檢測：對 UPS 電源、變壓器等關鍵設備進行空載試運行，測試輸出電壓穩定性、諧波畸變率等參數，確保符合 SEMI S2-0213 標準。
3. 施工環境管控
       潔凈分區管理：在施工現場設置臨時緩沖間，施工人員需穿戴防靜電服、鞋套，佩戴防塵口罩進入作業區；每日施工前用無塵布蘸取異丙醇擦拭作業面，確保環境潔凈度達 ISO 8 級標準。
溫濕度監控：安裝環境監測儀，實時監控施工區域溫濕度（溫度 18-26℃，濕度 40%-60%），濕度過高時啟用工業除濕機，避免線纜受潮影響絕緣性能。

二、核心施工流程
1. 接地與防靜電系統施工
    三級接地網絡構建：
     工作接地：變壓器中性點通過 50mm² 銅纜連接獨立接地極，接地電阻≤1Ω；
    保護接地：電氣設備金屬外殼采用 25mm² 銅線連接至 PE 干線，接地電阻≤4Ω；
     防靜電接地：潔凈區地面防靜電地板通過導電銅箔（厚度 0.15mm）與環形接地網相連，每隔 3m 設置一處接地點，接地電阻控制在 10?-10?Ω。
     特殊防靜電處理：在光刻機、蝕刻機等精密設備底座下鋪設 0.3mm 厚銅箔，并與設備外殼、接地網多點連接，形成等電位面；人員出入口設置離子風幕機，消除人體靜電。
2. 線纜敷設與橋架安裝
           分層隔離敷設：強電橋架與弱電橋架垂直間距≥300mm，交叉處采用金屬隔板隔離；潔凈區內橋架采用滿焊工藝，焊縫打磨拋光后進行鈍化處理，確保表面光滑無積塵死角。
密封穿墻工藝：線纜穿越潔凈區與非潔凈區隔墻時，使用帶防火密封膠圈的不銹鋼套管（管徑大于線纜外徑 20%），縫隙采用硅酮密封膠填充，經氦質譜檢漏儀測試，泄漏率≤1×10?? Pa?m³/s。
3. 設備安裝與接線
           精密設備配電：為單晶爐、曝光機等關鍵設備設置獨立 UPS 供電回路，配置隔離變壓器和有源濾波器，將電源諧波畸變率 THD 控制在 3% 以內；設備接線采用冷壓端子，確保接觸電阻≤5mΩ。
照明系統安裝：LED 平板燈嵌入式安裝，與天花板之間加裝 EPDM 橡膠密封圈，確保氣密性；安裝后使用專業照度計進行逐點測試，偏差值控制在設計值的 ±10% 以內。
三、質量控制與驗收
1. 過程質量管控
           隱蔽工程驗收：接地極埋設、管線預埋等工序完成后，邀請監理單位進行現場驗收，留存影像資料并簽署隱蔽工程驗收單，未經驗收不得進入下道工序。
每日巡檢制度：質檢員對橋架焊接質量、線纜綁扎規范、密封膠填充效果等進行日檢，發現問題立即下發整改通知單，整改完成后進行二次驗收。
2. 性能測試標準
        接地電阻測試：使用四極法測量，工作接地≤1Ω，保護接地≤4Ω，防靜電接地 10?-10?Ω，測試數據記錄存檔。
絕緣電阻測試：采用 500V 兆歐表，要求線纜絕緣電阻≥10MΩ，配電箱相間及對地絕緣電阻≥50MΩ。
電磁兼容性測試：委托第三方機構對電氣系統進行 EMC 檢測，確保輻射干擾強度、傳導干擾電壓等指標符合 GB/T 17626 系列標準。
3. 潔凈度恢復驗證
        電氣施工完成后，對作業區域進行全面清潔，使用激光塵埃粒子計數器檢測潔凈度，確保恢復至 ISO 7 級標準；對高效過濾器進行完整性掃描，DOP 檢測泄漏率≤0.01%。
四、廣州坤靈項目實踐優勢
        在某 12 英寸晶圓制造潔凈車間項目中，廣州坤靈通過實施本方案，實現了三大技術突破：
防靜電效能提升：采用冗余式接地網絡設計，使車間靜電電壓長期穩定在 30V 以下，較行業平均水平降低 40%；
供電穩定性增強：為光刻機配置專用 UPS + 柴油發電機雙冗余電源，斷電切換時間＜10ms，保障設備連續運行；
電磁干擾抑制：通過雙層屏蔽線纜、金屬法拉第籠等措施，將敏感區域電磁強度控制在 10V/m 以內，滿足半導體制造工藝要求。
      本方案通過標準化流程、精細化管控和創新技術應用，為電子行業潔凈車間提供高可靠性電氣施工解決方案，助力客戶打造符合 SEMI 國際標準的現代化生產環境。