十級電子半導體潔凈車間如何建設

一、潔凈等級標準與要求

十級潔凈車間（ISO Class 4）是半導體制造的核心環(huán)境，要求每立方米空氣中≥0.1μm的微粒數(shù)不超過352個，≥0.2μm的微粒數(shù)不超過83個。該環(huán)境適用于光刻、蝕刻、離子注入等關鍵制程。

• 車間整體布局設計

三、空氣凈化系統(tǒng)設計

• 三級過濾系統(tǒng)：初效(G4)+中效(F8)+高效(ULPA H14)

• ULPA過濾器：過濾效率99.9995%@0.12μm

• FFU覆蓋率：100%吊頂覆蓋

• 換氣次數(shù)：500-600次/小時

• AMC控制：化學過濾器去除酸、堿、有機物等污染物

• 建筑材料選擇

五、關鍵系統(tǒng)技術參數(shù)

• 空調系統(tǒng)：MAU+DDC+FFU組合，冷量冗余≥30%

• 超純水系統(tǒng)：電阻率≥18.2MΩ·cm，TOC≤1ppb

• 特氣系統(tǒng)：VMB/VMP分壓裝置，純度99.9999%

• 真空系統(tǒng)：分子泵機組，極限真空≤5×10??Pa

• 廢水處理：分類收集，重金屬去除率≥99.9%

六、微振動控制

• 獨立基礎：設備基礎與建筑結構分離

• 空氣彈簧隔振：振動傳遞率≤5%

• 微振動標準：VC-D級（1-80Hz≤12.5μm/s）

• 管路柔性連接：波紋管減振接頭

七、施工流程與周期

方案設計階段（4-6周）

需求分析、概念設計、方案評審

設備采購階段（8-10周）

FFU、過濾器、彩鋼板等核心設備招標

主體施工階段（12-16周）

結構改造、墻體安裝、風管施工

系統(tǒng)安裝階段（8-10周）

凈化空調、自控系統(tǒng)、工藝管道

調試檢測階段（4-6周）

系統(tǒng)聯(lián)調、潔凈度檢測、驗收認證

八、驗收測試標準

九、運行維護管理

• 實時監(jiān)控系統(tǒng)：對溫濕度、壓差、潔凈度進行24小時監(jiān)控

• 過濾器更換：初效1月/次，中效3月/次，高效1年/次

• 清潔規(guī)程：每日濕法清潔，每周深度清潔

• 人員培訓：嚴格的無菌操作培訓，每季度考核

• 驗證周期：年度全面驗證，符合ISO 14644標準